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成仪PECVD系统

  • 成仪PECVD系统
  • 成仪PECVD系统

    型号:
    PE-12100C
    用途:
    使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应.
    规格:
    特点:



  • 成仪PECVD系统(PE-12100C)

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    PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。

    该型号PECVD为成仪最新款,综合了国内大多数厂家的必威体育在线手机版PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。而且控制部分采用了成仪自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。

    主要特点:


    1. 气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;

    2. AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——成仪AIO控制系统;

    3. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。

    4. 智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;

    5. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;

    6. 炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;

    7. 整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。

     

    详细参数:

     


    加热炉部分

    1

    炉膛模式

    开启式炉膛

    2

    显示模式

    7英寸触摸屏

    3

    极限温度

    1400℃

    4

    工作温度

    ≤1350℃

    5

    升温速率

    建议10℃/Min   Max:30℃/Min

    6

    加热温区

    3温区

    7

    单温区长度

    150 mm

    8

    炉管规格

    100*2000 mm

    9

    控温精度

    ±1℃

    10

    密封方式

    快速法兰密封

    11

    温度曲线

    30段"时间—温度曲线"任意可设

    12

    预存曲线

    可预存15条温度曲线

    13

    超温报警

    14

    过流保护

    15

    断偶提示

    16

    测温元件

    s型热电偶

    17

    炉膛材料

    氧化铝纤维

    18

    外形尺寸

    2600*860*1400MM


    射频电源功率

    1

    信号频率

    13.56 MHz±0.005%

    2

    功率输出范围

    5W-300W

    3

    功率稳定度

    ±0.1%

    4

    谐波分量

    ≤-50dbc

    5

    供电电压

    单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

    6

    整机效率

    >=70%

    7

    功率因素

    >=90%

    8

    冷却方式

    强制风冷

    9

    真空部分

    10

    工作电电压

    220V±10%  50~60HZ

    11

    功率

    500W

    12

    抽气速率

    4Ls

    13

    进气口口径

    KF25

    14

    排气口口径

    KF25

    15

    转速

    1450rpm

    16

    噪音

    55dB

    17

    极限真空

    4X10-2Pa


    气路系统

    1

    1,2气路采用DB07K系列

    准确度:±1.5%

    重复精度:±0.2%

    响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

    工作压差范围:0.10.5 MPa

    2

    3路采用高精度CS200系列

    准确度:±0.35%FS  ±1.0%SP

    线性:±0.5%FS

    重复精度:±0.2%FS

    响应时间:气特性:1Sec



    整机系统特色

    1

    正压测量

    -100Kpa---100Kpa

    2

    真空测量

    10-2Pa ~100Kpa(支持Ar测量)

    3

    正压保护

    支持

    4

    压力恒定

    支持

    5

    智能气路

    支持

    6

    气路定时

    支持

    7

    射频工作时间设定

    支持

    8

    移动速度调节

    支持

    9

    系统真空度

    4.8×10-3Pa

     

     


     
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