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RTP多功能快速退火炉

  • RTP多功能快速退火炉
  • RTP多功能快速退火炉

    型号:
    RTP1100-M
    用途:
    真正的极速升温和极速降温
    规格:
    特点:



  • 快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在必威体育在线手机版炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温

    此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。

    功能举例:样品加热到1000℃后,炉膛自动移开加热区,冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温,样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热,如此往复,往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。

    图片1.png应用领域

    Ø 速热退火 (RTA); 离子注入后退火

    Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

    Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

    Ø 硅化 (Silicidation);

    Ø 扩散 (Diffusion);

    Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

    Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

    Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);


     
          

        主要特点

    Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

    Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

    Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;

    Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;

    Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格;

    产品名称

    RTP多功能快速退火炉

    产品型号

    RTP1100-M

    额定温度

    1100℃

    温场均匀性

    ±2℃

    炉膛升温速率

    ≥100℃/S

    最快降温速率

    ≥100℃/S

    控温方式

    炉膛与样品要分别控温,两个测温点

    炉膛移动方式

    根据用户样品设定温度自动左右移动,往复次数可调节

    操控系统

    智能AIO操作系统

    操作界面

    7英寸触摸屏

    加热方式

    短波红外线加热

    加热腔体结构

    双层石英管

    外管直径

    100mm

    内管直径

    80mm

    气体保护方式

    外管进气,内管出气

    压力保护

    管内自动恒压(0.8~1.2个大气压任意可调)

    样品冷却

    加热后炉膛自动移开,冷气打开直吹样品,降到设定温度自动关闭冷却气体。

    冷却气体调节

    浮子流量计(100~1000ml/min)

    超温保护

    温度出现过高时切断主回路

    式样有效空间

    90*100mm

    真空系统

    8L/S双级联真空系统

    整机真空度

    0.5Pa

    真空启动方式

    根据程序设置自动启停

    抽气端口尺寸

    KF16

    供气口尺寸

    1/4英寸双卡套

    法兰冷却方式

    水冷(短时间无需水冷)

    真空显示

    数字真空压力表

    上位机操控

    基于安卓系统APP

    数据导出方式

    APP导出Excel表格

    额定功率

    12kw

    外形尺寸

    950*500*560mm

    重量

    50kg

    配件

    管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。



     
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