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快速退火炉

  • 快速退火炉
  • 快速退火炉

    型号:
    RTP1100
    用途:
    极速退火与镀膜
    规格:
    Φ100*200
    特点:
    快速升温快速降温
  • 快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在必威体育在线手机版炉的基础上自主研发而成,不但拥有极快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温

        腔体采用了独有双层石英管结构,外层管进气,内层管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。

      加热灯管之所以能够让硅片快速升温,是因为光源波长在0.3-4微米之间,石英管壁无法有效吸收这一波段的辐射,而晶片则正好相反。因此,晶片可以吸收辐射能量快速加热,而此时石英管壁仍维持低温,即所谓冷壁工艺。

     

    应用领域:

    Ø 速热退火 (RTA); 离子注入后退火

    Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

    Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

    Ø 硅化 (Silicidation);

    Ø 扩散 (Diffusion);

    Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

    Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

    Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

     

        主要特点:

    Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

    Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

    Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;

    Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用

    Ø 真空度可达9.8×10-4Pa

    技术参数:

    主要技术指标

    数据

    产品型号

    RTP1100

    极限温度

    1200℃

    额定温度

    1100℃

    控温精度

    ±1℃

    温场均匀性

    ±2℃

    最快升温速率

    100℃/S

    最快降温速率

    100℃/S

    操控系统

    智能模糊控制

    操作界面

    7英寸触摸屏

    加热方式

    短波红外线加热

    加热腔体结构

    双层管

    气体流动方式

    外管进气,内管出气

    扩充端口

      可扩充真空测控和FFC供气

    过载保护

      电流过大自动切断主回路

    超温保护

      温度出现过高时切断主回路

    传感器类型

       S型单铂铑

    反应腔室尺寸

       Φ100*200mm

    式样有效空间

    3.5英寸

    传感器类型

    9.8×10-4Pa

    抽气端口尺寸

    KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

    供气口尺寸

    Φ6.35mm双卡套(或Φ8mm宝塔嘴)

    样品冷却方式
    风冷

    法兰冷却方式

    水冷

    最大功率
    15KW
    额定电压

       AC 380V,50Hz

    外形净尺寸

    950*500*560

    重量

    约55KG





     
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