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三路质量流量计

  • 三路质量流量计
  • 三路质量流量计

    型号:
    CHY-3Z
    用途:
    主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空必威体育在线手机版炉或手套箱营造特定要求的气氛环境
    规格:
    1~3路气体,高精度
    特点:
    质量流量计,按气体质量计算流量,精确度极高


  • 该款质量流量计是按照气体的原子质量计算流量大小,其精确度高。核心流量检测仪采用七星华创的高精度检测仪,最高精度达到0.05 SCCM。


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    技术参数:


    产品名称

    三路质子气体配比器

    产品型号

    CHY-3Z

    流量计类型

    质子流量计

    流量计管芯

    304不锈钢

    调节阀类型

    电磁调节阀

    管道常态

    常闭

    流量计外壳

    黑色铝壳

    气体种类

    3种

    接口尺寸

    1/4"

    测量精度

    ±1.0%F.S

    线性度

    ±0.5%F.S

    重复精度

    ±0.2%F.S

    压力范围

    -0.1-0.15 MPa

    A路气体测量范围

    0~100SCCM

    B路气体测量范围

    0~200SCCM

    C路气体测量范围

    0~500SCCM

    流量控制范围

    2%~100%

    零点温漂

    0.6F.S(15~35℃)

    响应时间

    2S

    工作环境温度

    (15~50℃)

    精度保证温度

    (15~35℃)

    供电电源

    220V 50Hz

    外形尺寸

    L700×W600×H580

    设备重量

    43kg


     
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